设备概要:
适用尺寸:2”-12”Wafer基材。
基本规格:
外观材质:本体以SUS 304亮面板材质组合而成。
设备骨架:铝挤型骨架组合,结构强固。
盆罩:SUS 304亮面钢板Cup盆罩结构。
盆罩掀盖:气缸传动,盆盖未闭合无法旋转作动。
吸盘:铝制吸盘阳极硬化处理,具抗酸碱功能,吸盘表面平坦。
作业视窗:采透明PVC或玻璃材质,掌握作业情况。
排风系统:直接式抽风设计,并同时减低异味。
排液系统。
马达:AC Motor(转速:30~1800 RPM)。
摆臂:直径摆动AC Motor。
机台安全保护。
电控系统:
软件:PLC可程式自动化控制器。
使用操作界面:人机。
配方模块:6组配方设定。
段数设定:每一配方模块均设7段段数,
可设定加速度及时间控制。
密码设定:可依权限设定密码保护。