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当前产品晶圆清洗机(自动-落地型)

晶圆清洗机(自动-落地型)

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  • 公司名称东莞胜柏电子有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地东莞市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/11/11 6:19:28
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产品详情

设备概要:
适用尺寸:2”-12”Wafer基材。
基本规格:
外观材质:本体以SUS 304亮面板材质组合而成。
设备骨架:铝挤型骨架组合,结构强固。
盆罩:SUS 304亮面钢板Cup盆罩结构。
盆罩掀盖:气缸传动,盆盖未闭合无法旋转作动。
吸盘:铝制吸盘阳极硬化处理,具抗酸碱功能,吸盘表面平坦。
作业视窗:采透明PVC或玻璃材质,掌握作业情况。
排风系统:直接式抽风设计,并同时减低异味。
排液系统。
马达:AC Motor(转速:30~1800 RPM)。
摆臂:直径摆动AC Motor。
机台安全保护。
电控系统:
软件:PLC可程式自动化控制器。
使用操作界面:人机。
配方模块:6组配方设定。
段数设定:每一配方模块均设7段段数,
可设定加速度及时间控制。
密码设定:可依权限设定密码保护。

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东莞胜柏电子有限公司

型:
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商家概况

主营产品:
尼康曝光机
公司性质:
其他

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