产品简介:
日本cosmos新宇宙半导体材料气体检测器XPS-7 特性:可更换传感器
检测对象:半导体材料气体
检测方式:吸引式
参数特点:
只需更换传感器单元就可以检测各种对象气体。 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
可以大幅度削减成本和维护时间。
※无报警时(气体浓度显示5ppm以下)、20℃时。
型 号 | XPS-7 | 检测原理 | 定电位电解式 | 检测气体对象 | 半导体材料气体 | 测量范围 | 根据规格 | 分 解 能 | 全量程的百分之一表示 | 指示精度 | FS±10%以内 | 报警模式 | 2段报警方式 | 报警方式 | 蜂鸣器(断续音)、报警灯闪烁 | 应答时间 | 60秒以内(60%应答) | 电 源 | 5号碱性干电池4节或AC专用变压器 | 电池使用时间 | 连续12小时以上(使用碱性干电池无报警、20℃时) | 外型尺寸 | W62×H150×D128mm(突出部分除外) | 检测方式 | 泵吸引式 | 使用温度范围 | 0℃~40℃ | 重 量 | 约1.3kg | 附 件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张 | 选 购 件 | AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件 | 检测气体一览表: 对象气体一览表 | | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | XDS-7NH | NH3 | 100ppm | XDS-7GH | GeH4 | 1ppm | XDS-7HS | H2S | 50ppm | XDS-7SH | SiH4 | 25ppm | XDS-7CL | CL2 | 5ppm | XDS-7CO | CO | 250ppm | XDS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XDS-7CF | CLF3 | 1ppm | XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm | XDS-7AH | AsH3 | 250ppb | XDS-7HC | HCL | 25ppm | XDS-7F2 | F2 | 5ppm | XDS-7PH | PH3 | 1ppm | XDS-7HF | HF | 10ppm | XDS-7OZ | O3 | 1ppm | XDS-7BH | B2H6 | 500ppb | XDS-7HB | HBr | 10ppm | | | XDS-7SE | H2Se | 250ppb | XDS-7NO | NO | 100ppm | |
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